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本文比較了MTI的AccumeasureHD放大器和激光干涉儀進行非常小的位移測量的能力，并特別留意比較分辨率和精密度。通常，高分辨率干涉儀是本文討論的精確測量類型的首選儀器。但是，MTI的技術為用戶給予了出色的準確性和穩定性。此外，與廣泛采用的高分辨率干涉儀相比，Accumeasure的設置更簡單且價格實惠。在微定位方面的應用領域涉及光刻環節中半導體晶圓掩膜高度的精確測量。
硬件配置比較
MTI的AccumeasureHD放大器將電容性電場精確測量值（稱為位移）轉換為24位數字讀數，以生成位置，厚度，運作和振動的精確測量值。這樣可以消除鑒于模擬濾波，線性化，范圍擴展和通道總和以進行厚度或臺階精確測量而可能發生的其他錯誤。
出于科學試驗的目的，將新的D200型放大器與前置放大器和高清電容傳感器探頭（ASP-50M-CTA）結合采用，其測量范圍為50微米（μm）。AccumeasureHD的分辨率為1皮米（pm），同時可以與精選探頭一起給予皮米精密度。
已采用的PicoScale干涉儀代表一類設備1，特別是邁克爾遜干涉儀，它將來源于光線的光束分成不同的臂，然后將這些臂反射回分束器。在組合振幅之后，所得的干擾樣圖不立即朝向光線，反而是立即朝向光電檢測器。
在此科學試驗中，干涉儀由SH-CO2激光干涉儀傳感器和PS-CTRL-V1.4-TAB3控制器組合而成。干涉儀的分辨率為70pmRMS。采用峰峰值（pk-pk）轉換，這將是350pm（采用6倍將RMS轉換為pk-pk）。
試驗性比較
將CO2干涉儀傳感器和MTIASP-50M-CTA探頭安裝到小型壓電式撓性平臺上。盡管兩個傳感器沒有觀測到完全相同的目標表面，但它們在機械和物理上都是閉合的。電容傳感器探頭嵌入平臺中，以使其立即觀察壓電式撓曲運作。干涉儀安裝在靠近平臺的光學柱上。它指向安裝在舞臺頂部的后向反射鏡。后向反射器與舞臺的運作同步挪動。
為了更好地定義最小分辨率，在平臺不挪動時進行精確測量。當載物臺來回挪動12nm時也進行了精確測量。這有助于觀察機械運動，并允許比較動態結果。壓電式撓性位移臺和干涉儀都安裝在隔離的空氣位移臺上，以最大程度地減少可能干擾精確測量的地震事件。
該科學試驗采用安捷倫信號發生器來生成10Hz方波數據信號，該數據信號被發送至高壓放大器。這推動了壓電式操作系統耶拿運作平臺，其范圍為100μm，來回挪動12nm。操作系統是開環增益的。